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本 集積回路工学

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本-集積回路工学
著者: 上西勝三 (著)
定価 ¥2,700(税込)
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出版社名 日本理工出版会
発行年月 2001年 10月
ISBNコード 9784890192137
版型 --
ページ数 214P
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上西勝三 OFF

内容紹介

本書は教科書としてだけでなく、集積回路に関心のある幅広い人にも利用できるように、シリコン基板の上に多くの回路部品を形成するための、パターン形成、接合形成、薄膜形成などの処理、プロセス技術そのものについてだけでなく、全体の製法工程についても解説した。
集積回路の初期の技術と経過および最新の技術に至るまで触れている。

※本データはこの商品が発売された時点の情報です。

目次

半導体産業の影響/モノリシック集積回路/シリコン単結晶/酸化膜/拡散と接合の形成/ホトリソグラフ/洗浄・薬品・純水/エッチング/クリーン技術/成膜技術/組立・実装技術/集積回路の信頼性/今後の課題

著者情報

上西 勝三
1961年東北大学工学部通信工学科卒業。同年、沖電気工業(株)に入社。研究開発部門でミリ波電子管、シリコンビジコン、シリコン高周波トランジスタ、MIC、FAX用サーマルヘッド、GaAs集積回路、3次元素子、SAWフィルタ、TFT液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイなどの研究開発に従事。1980年東北大学より工学博士。1986年沖電気・半導体技術研究所所長。1994年東京都科学技術功労者賞。1995年カシオ計算機(株)。1999年~岡谷電機(株)。茨城大、日本工業大、東京高専で非常勤講師

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