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本 「薄膜」のキホン 原子に迫る超微細・超高密度の世界

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本-「薄膜」のキホン 原子に迫る超微細・超高密度の世界
著者: 麻蒔立男 (著)
定価 ¥1,620(税込)
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出版社名 ソフトバンククリエイティブ
シリーズ名 イチバンやさしい理工系 SBE-006
発行年月 2010年 09月
ISBNコード 9784797357134
版型 --
ページ数 190P
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麻蒔立男 OFF

内容紹介

わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面をもつ薄膜技術のすべてにわたり、注目すべきポイントにしぼってやさしく図解した入門書。
真空の中でプラズマを利用して新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界が見えてくるのかなどを紹介。

※本データはこの商品が発売された時点の情報です。

目次

第1章 よい暮らしは美と微から/第2章 真空は薄膜づくりの貴重な環境/第3章 薄膜をつくろう/第4章 薄膜には独特の性質が表れる/第5章 基板と薄膜を強く結びつけるための技術/第6章 薄膜づくりにはプラズマが大切/第7章 古くから用いられた蒸着法/第8章 大面積ソース・量産向きのスパッタ法/第9章 気体から薄膜をつくる気相成長法/第10章 液体の中で薄膜をつくる―めっき/第11章 薄膜を回路やトランジスタに加工するエッチング/第12章 薄膜を使って前進―その可能性はかぎりない

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