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本 デジタル回折光学

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本-デジタル回折光学
著者: BernardKress (著)
PatrickMeyrueis (著)
藤野誠 (訳)
定価 ¥14,040(税込)
BOOKFANポイント: 650 pt
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出版社名 丸善
発行年月 2005年 03月
ISBNコード 9784621075685
版型 --
ページ数 435P
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目次

序章 回折から回折光学へ/第1章 回折光学素子の設計とシミュレーション/第2章 DOEの作製と複製技術/第3章 回折光学素子用のCADとCAMのツール/第4章 回折光学素子の作製許容値解析/第5章 DOEマスクレイアウトの作製/第6章 システムへの適用を重視したDOE設計例

著者情報

藤野 誠
株式会社トプコン研究所ナノオプト研究室

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