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本 プラズマ工学

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本-プラズマ工学
著者: 小越澄雄 (著)
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商品情報

出版社名
電気書院
発行年月
2010年 09月
ISBNコード
9784485302125
版型
--
ページ数
168P
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小越澄雄 OFF

目次

プラズマとは/プラズマの発生・維持/プラズマを記述する方程式とプラズマの特性/プラズマ内の波/拡散とプラズマ密度分布/プラズマの温度・密度の推定と容量結合形プラズマ源/誘導結合形プラズマ源/電磁波を用いた高密度プラズマ源/スパッタリングと直流マグネトロン放電/プラズマ計測/半導体プロセスへの応用/プラズマの光源としての応用/核融合発電への応用/大気圧放電とその応用/超粒子シミュレーション

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