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本 荷電粒子ビーム工学

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本-荷電粒子ビーム工学
著者: 石川順三 (著)
定価 ¥4,320(税込)
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出版社名 コロナ社
発行年月 2001年 05月
ISBNコード 9784339007343
版型 --
ページ数 302P
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石川順三 OFF

内容紹介

本書では、電子だけでなくイオンも含めた荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作に加えて、それらを用いた材料プロセスも重要なテーマであると位置づけ、荷電粒子ビームと固体との相互作用の入門的な記述も加え、また、電子およびイオンビーム技術に関し、その基本となる基礎現象の理解ができるだけ得られるように、現象の物理的意味をわかりやすく解説している。

※本データはこの商品が発売された時点の情報です。

目次

1 荷電粒子ビームの特質と利用形態/2 電子とイオン/3 電子の発生とビーム形成/4 イオンの発生とビーム形成/5 ビーム輸送と操作/6 ビームと固体原子の相互作用/7 高周波エネルギー変換デバイス/8 荷電粒子ビーム装置

著者情報

石川 順三
1968年京都大学工学部電子工学科卒業。1970年京都大学大学院修士課程修了(電気工学第二専攻)。1981年工学博士(京都大学)。1984年京都大学助教授。1989年京都大学教授。現在に至る

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