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本 マイクロプラズマ 基礎と応用

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本-マイクロプラズマ 基礎と応用
著者: 橘邦英 (編著)
定価 ¥4,860(税込)
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出版社名 オーム社
発行年月 2009年 03月
ISBNコード 9784274207037
版型 --
ページ数 260P
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橘邦英 OFF

目次

第1章 序論(マイクロプラズマの定義とその特徴/マイクロプラズマの生成 ほか)/第2章 微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象(高密度媒質による特徴/微小性による特徴 ほか)/第3章 マイクロプラズマの生成(気体を用いたマイクロ放電によるプラズマ生成技術/液体や固体が関わるマイクロ放電によるプラズマ生成技術 ほか)/第4章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション(プラズマメータの計測/気相・表面近傍での反応活性種の計測 ほか)/第5章 マイクロプラズマの応用(材料プロセス応用/微量化学分析・センサへの応用 ほか)

著者情報

橘 邦英
1973年京都大学大学院工学研究科博士課程修了。1974年工学博士。現在、京都大学大学院工学研究科電子工学専攻教授

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