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本 電子線リソグラフィ教本

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本-電子線リソグラフィ教本
著者: 秋永広幸 (編)
定価 ¥3,240(税込)
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出版社名 オーム社
発行年月 2007年 06月
ISBNコード 9784274204159
版型 --
ページ数 210P
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秋永広幸 OFF

目次

第1章 電子線リソグラフィ概論/第2章 電子線制御技術/第3章 電子線描画装置/第4章 電子線描画技術/第5章 電子線レジスト/第6章 電子線リソグラフィプロセス/第7章 電子線リソグラフィ技術の活用/第8章 電子線描画装置の導入/第9章 電子線描画装置の操作方法

著者情報

秋永 広幸
1992年筑波大学大学院博士課程工学研究科修了、工学博士。現在、独立行政法人産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門研究グループ長(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

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