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本 センサ・マイクロマシン工学

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本-センサ・マイクロマシン工学
著者: 藤田博之 (編著)
定価 ¥3,456(税込)
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出版社名 オーム社
シリーズ名 EE text
発行年月 2005年 10月
ISBNコード 9784274201349
版型 --
ページ数 209P
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藤田博之 OFF

目次

1章 本書の構成と使い方/2章 センサ・マイクロマシンの概要/3章 微細構造製作プロセス技術/4章 物理センサ/5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン/6章 化学センサとマイクロ化学システム

著者情報

藤田 博之
1980年東京大学大学院電気工学専門課程博士課程修了。1980年工学博士。現在、東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター長教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

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