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本 プラズマエレクトロニクス

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本-プラズマエレクトロニクス
著者: 菅井秀郎 (編著)
定価 ¥2,484(税込)
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出版社名 オーム社
シリーズ名 インターユニバーシティ
発行年月 2000年 08月
ISBNコード 9784274132100
版型 --
ページ数 162P
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菅井秀郎 OFF

内容紹介

本書は、プラズマプロセス技術に対するニーズの高まりを背景に、時代に即応した新しい目でプラズマの教科書を見なおし、基礎的な考え方を把握してもらうことを念頭に書いたものである。
プラズマをミクロな視点とマクロな視点に立ってわかりやすく説明し、最近のプラズマプロセスで用いられる新しいプラズマのつくり方を説明した。

※本データはこの商品が発売された時点の情報です。

目次

プラズマエレクトロニクスの学び方/プラズマをミクロに見よう/プラズマをマクロに見よう/プラズマが生まれるまで/プラズマのつくり方(直流放電/高周波放電、マイクロ波放電)/エレクトロニクスと環境工学へのプラズマ応用を学ぼう

著者情報

菅井 秀郎
1971年東北大学大学院工学研究科博士課程修了、工学博士。現在名古屋大学大学院工学研究科教授

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